SIMS. Stärken, Einschränkungen

Stärken

  • Hohe Nachweisempfindlichkeiten (ppm und besser)
  • Tiefenprofile mit sehr guter Tiefenauflösung (5 nm) und niedrigen Nachweisgrenzen
  • Nachweis aller Elemente im Massenbereich von 1H bis 238U
  • Gutes laterales Auflösungsvermögen (1 µm)
  • Hohe Dynamik (6 Größenordnungen)

Einschränkungen

  • Zerstörung der Probenoberfläche
  • Mixing- und Recoilprozesse
  • Topografieeffekte, Rauigkeit
  • Starke Variation der Ionisierungsquerschnitte
  • Matrixabhängigkeit der Nachweisempfindlichkeit
  • Keine Informationen über chemische Bindungen
  • Notwendigkeit fester und vakuumbeständiger Proben